제품소개

정밀 광학 모듈

Coaxial Vision Laser Processing Module
– Back Reflection 최소화
– 실시간 모니터링
– 제품 위치 Align
– 레이저빔 궤적 편집
– 영상 & 레이저빔 위치 자동 보정
적용분야
– 2차전지 Welding, Notching
– 반도체, PCB, 자동차 미세가공: Welding, Marking, Cutting, Soldering 등
Motorized Beam Expander Telescope(MBET)

배율
– 1X ~ 4X, 2X ~ 8X

적용 파장
– 343nm, 355nm, 515nm, 532nm, 1030nm, 1064nm

냉각형 / 비냉각형 IR카메라 모듈

– MWIR 감시 카메라

– VGA (640 x 512) / 15um 센서 적용

– Focal length 200mm

2D & 3D 비전 검사 모듈

– 반도체 / 디스플레이 / 2차전지용 비전 검사 모듈

– 렌즈 / 카메라 / 조명을 이용한 검사 광학시스템

– 텔레센트릭 렌즈 / 마크로 렌즈 / Microscopy 등 다양한 비전 검사시스템 제공

Lens Assembly

대형 Telecentric 대물렌즈

-Galvo-Scanner를 통해 디스플레이 cell, 박막 필름 등의 노칭(컷팅)

-대면적 Micro 레이저 가공

-300x300mm 이상 대면적 면적 스캔 가공 가능

-Custom 설계 및 제작 가능

f-theta 렌즈

– 마킹, 웰딩, 드릴링, 솔더링, 커팅 등 마이크로 머시닝 레이저 가공 분야

– UV ~ IR 파장(266nm~1080nm) 제품군 보유

– Customer 설계 및 제작 가능.

레이저윈도우 / Optical Flats

– 당 사의 최고급 연마 기술, 다양한 코팅 레시피를 통한 다양한 레이저 윈도우 제공

– Substrate Material
UV Grade Fused Silica, CaF2 , MgF2 , BK7, ZnSe, Sapphire, Ge, Crystal Quartz, Other material is available
– Surface Quality, Surface Flatness
10-5 Laser Quality, l/20 at 633nm
– Damage Threshold
20J/cm2, 8nsec @ 1064nm typical
– Low loss, High damage threshold AR coatings available

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레이저미러

-당사 레이저미러는 높은 Damage Threshold 보장, IBS 코팅 활용  R>99.99% 이상 초고반사율 코팅 가능

– Output Coupler Mirrors (Partially Reflecting Mirrors)

– Femtosecond Laser Mirrors

– Nd:YAG, Nd:YVO4 & Nd:YLF Laser Mirrors

– Solid State Laser Mirrors & Gas Laser Mirrors

– Excimer Laser Mirrors

– Broadband Metal & Dielectric Mirrors

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특수 및 대형미러

– ELA 및 LLO 용 대형 Window는 2000mm Length 이상 가공 가능

– 구면 렌즈는 500mm 직경 이상 가공 가능

– 18인치 간섭계를 보유하고 있어서, 대면적 측정 가능.

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OAP(Off-Axis Parabola) Mirror (비축-포물경)

-레이저 빔 경로 변경과 빔 집속을 동시 구현

-Material: Aluminum, Glass, Fused Silica, Ceramic,  ZERODUR®

-Coating: Metal(Au, Ag, Al), Dielectric HR

-Size: up to 400mm Diameter (협의 가능)

-주 활용분야: 고에너지 레이저 연구, 레이저 무기

실린드리컬 렌즈 Cylindrical Lens

– 단일치수의 빛을 압축, 초점 또는 확장하는데 사용

– 레이저스캐너, 홀로그래피, 광학정보프로세싱, 분광학, 색소레이저및 스캐닝 초점 현미경에 적용

– LLO 및 Annealing 분야에 적용되는 1500mm 이상 대형 실린드리컬렌즈 제작 가능

– Substrate Material
UV Grade Fused Silica, CaF2 , MgF2 , BK7, ZnSe, SF11, Other material is available
– Surface Quality & Surface Figure
20-10 Laser Quality, l/4 at 633nm
– Low loss, High damage threshold AR coatings available

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Multi-Element Lens
멀티엘리먼트 렌즈는 전문적인 성능 및 높은 수준의 수차 보정이 필요한 어플리케이션에 적합한 솔루션입니다.
당사의 멀티엘리먼트 렌즈 제품 라인에는 근접 회절 제한 성능을 제공해야 하는 다양한 요구 사항을 충족하는 더블릿, 트리플릿 및 조립품이 포함됩니다.
당사의 색수차 제거 렌즈, 구면수차 제거 렌즈 및 대물 렌즈는 최상의 빔 품질과 최소한의 초점 스팟 크기를 위해 모든 파면 왜곡 소스를 최소화하도록 설계됩니다.
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방산&우주항공 정밀광학

Sapphire 전면창
Sapphire 재질 투과창으로 가시광선, 근적외선, 중적외선의 파면수차를 최소화하여 투과함으로써, 광학 성능 유지 및 내부 광학부품의 보호 용도로 사용 됩니다.

Material : Sapphire
Size : 300mmdia (협의가능)
Surface accuracy : 15nm(rms) 300mmdia / at 633nm (TWE)
Coating : VIS / NIR / MWIR Durable anti-reflection coating

이중 대역 전면창
ZnS 재질 투과창으로 가시광선, 근적외선, 중적외선의 파면수차를 최소화하여 투과함으로써, 광학 성능 유지 및 내부 광학부품을 보호 합니다.

Material : ZnS-Cleartran (multi-spectral)
Size : 400mmdia (협의가능)
Surface accuracy : 30nm(rms) 300mmdia / at 633nm (TWE)
Coating : VIS / NIR / MWIR Durable anti-reflection coating

전자광학추적장비용 전면창
Ge(야간창) 원적외선, BK7(주간창) 가시광선/근적외선 투과창으로 파면수차를 최소화하여 투과함으로써, 광학 성능 유지 및 내부 광학부품을 보호합니다
Material : BK7(Day window), Ge(Night window)

Surface accuracy : 60nm (rms)
per 100mmdia at 633nm

Coating : Ge window, LWIR DLC/ Anti-reflection coating
N-BK7 window – VIS / NIR Durable
anti-reflection coating
주,야간 감시장비용 광학제품
다양한 재질의 구면 및 비구면 렌즈 가공 및 경우에 따라 초정밀 가공 및 측정 제공
Material : Glass, Ge, Si, ZnSe, ZnS, Chalcogenide, CaF2
Size : 5mm~300mmdia (협의가능)
Surface accuracy : 20~30nm(rms) 300mmdia / at 633nm (TWE)
Coating : VIS / NIR / MWIR / LWIR Durable anti-reflection coating

정밀 광학 디자인 및 기타

다양한 광학 설계 경험과 가공, 조립, 노하우를 바탕으로 한 광학 설계 및 성능 예측으로 고객의 요구에 최적화된 광학 솔루션을 제공합니다.

정밀 광학 시스템 설계

– F – theta Lens Design
– Beam Expander Design
– Zoom Lens Design
– TTL Vision Lens Design
– Machine Vision Design
– Camera Lens Design
– Lithography Lens Design
– Optics Mount Design
– Optical Mechanic Design
– Vibration and Thermal Analysis

Customized Service

초정밀 가공, 측정, 코팅을 Special 하게 필요한 분야만 처리해 드립니다. 영업직원과 상담 부탁 드립니다.
1. 코팅 분야
IBS

Ion Beam Sputtering

– Wavelength(nm) : 240nm – 3000m
– Φ370 * 2 Fixture, Φ450 * 1 Fixture
• Material(Target) : 4 Zone Target
– Ta/Si, Hfo2/Sio2, Al/Si
• 제어 방식 : broadband optical monitoring(BBOM)
• High Reflection Laser mirror/Broadband AR coating
• High performance Spectral filter/Special coating

Advantages of IBS

• High durability
• High Laser damage threshold
• High reflectance & High transmittance
• Low losses
• High packing density and No spectral shift
CRD
고반사율 측정
Reflectometer/Loss Meter[CRD]

반사+투과+흡수율 측정 대비 정밀한 고반사율 측정
– 공진기 방식의 고반사율 측정 [355,532,1064nm]
• 고반사미러의 반사율 99.9995%측정 가능
• 다양한 입사각 측정으로 lens 측정가능: 5~45º
• s and p-pol 의 측정 가능

Reference page : GLACIER® https://www.ultrafast-innovations.com/devices/GLACIER.html

2. 첨단 가공 & 측정 분야(MRF, ASI, IBF)

CNC Grinding machine (G1-2P)

Benefits :

  • Working range(mm) : Spiral (Φ500)_Asphere                            
                                        Raster (380 x 250)_Rectangular
  • Axis repeatability : +/- 0.001mm
  • Axis range(mm) : X(380), Y(580), Z(250), A(+90°/-30°), S1(10000rpm), C1(600rpm)
  • Availability : Sphere, Asphere, Off-Axis-Parabolic(OAP), Freeform, Cylinder, edge, chamfering

CNC Polisher (MCP 251)

Benefits :

  • The large range of usable tools like Polishing Wheel (Wheel Polishing Technology), Active Fluid Jet Polishing (A-FJP), different pitch tools
  • Direct interface to tactile and optical surface measuring systems like Taylor-Hobson Form Talysurf, Mahr MarSurf, Mitutoyo or OptoTech Interferometers
  • Use of conventional consumables
    (e.g. Cerium oxide as polishing medium, polyurethane as polishing medium carrier)

MRF (Q-flex 300)

Benefits :

  • Provides a completely deterministic process that can be characterized to very high precision
  • Significantly reduces cycle times due to its high rate of removal and maintains process stability
  • Correction of transmitted wavefront (windows, phase plates, entire system correction on one surface)
  • Optical glasses, single crystals (calcium fluoride, silicon…) and ceramics
  • Square and rectangular aperture surfaces such as prisms, cylinders, and photoblank substrates
  • High-aspect-ratio optics and substrates (thin film filters, etalon substrates, semiconductor wafers etc.)
  • Removing micro-cracks and subsurface damage and improving glass resistance to laser damage
Reference Pages :  Q-flex 300 : https://qedmrf.com/en/mrfpolishing/mrf-products/q-flex-300 MRF Application : https://qedmrf.com/en/mrfpolishing/mrf-applications

ASI (ASI(Q)-VON, Freeform)

Benefits :

  • Improved accuracy _ automatically calibrates systematic instrument errors.
  • Flexible, to minimize custom tooling and lead time
  • Automated and easy-to-use
  • Capable of testing aspheres without dedicated nulls
  • Freeform metrology software
    - Enables interferometric measurements of freeform optics, without the use of a null lens
    - measure a wide variety of freeforms including toroids, heads-up display optics, and off-axis sections of rotationally-symmetric optics

Reference Pages : ASI(Q) : https://qedmrf.com/en/ssimetrology/ssi-products/asiq

                              ASI(Q) application : https://qedmrf.com/en/ssimetrology/ssi-applications

IBF (Optomill 2000)

Benefits :

  • Working range : up to Φ1000mm
  • Axis repeatability : 0.01mm
  • Axis structure(mm) : X(1000), Y(1000), Z(280), V(400), A(-40°/+70°), B(+/-40°), C(0°/360°)
  • Figure correction : < λ/200(PV) depending on measurement system
  • Availability : Sphere, Asphere, Cylinder
3. 정밀 조립 분야 : 편심 측정기

– 최대 측정 직경 : 400mm
– Lens centering measurement accuracy : 0.1μm
– Lens centering measurement : 40 surfaces (렌즈 20매)
– Air Gap Measurement : 800mm
– Effective Focal Length (EFL)
– Back Focal Length (BFL)
– Radius of curvature
– IR Lens & 실린드리컬 렌즈 측정
– Modulation Transfer Function (MTF) on-axis
– 비구면 편심 측정

Manufacturing Tolerance Chart

한국전광(Sphere)
　 Commercial(A,B) Precision(A,B,C) High precision
Diameter(mm) +0/-0.100 +0/-0.025 +0/-0.010
Center thickness(mm) ±0.100 ±0.050 ±0.020
SAG(mm) ±0.05 ±0.025 ±0.01
Clear Aperture 85% 90% 90%
Tolerance of radius of curvature (larger of two) ±0.1%/5fr ±0.05%/3fr ±0.02%/1fr
Irregularity-interferometer(PV) 1λ, λ/2 λ/4, λ/6, λ/10 λ/20
Centering (Beam deviation) 3 arcmin 1 arcmin 0.3 arcmin
Scratch Dig 60-40 / 40-20 40-20 / 20-10 / 10-5 10-5
Surface Roughness(Å rms) 10 7 5
한국전광(Asphere)
　 Commercial Precision High precision
Diameter(mm) ±0.10 ±0.05 ±0.03
Center thickness(mm) ±0.10 ±0.05 ±0.01
Tolerance of radius of curvature (larger of two) ±0.1%/5fr ±0.05%/3fr ±0.02%/1fr
Surface form (Irregularity, PV) 2um λ/2 λ/8
Rotational invariant irregularity 0.8um λ/4 λ/12
RMS irregularity (RMSi) 0.6um λ/6 λ/30
Slope tolerance 180arcsec/1mm 40arcsec/1mm 12arcsec/1mm
Edge thickness variation 25um 15um 5um
Tilt angle of the aspheric surface to the second surface 2.5 arcmin 1.0 arcmin 0.5 arcmin
Lateral displacement of the aspheric to the edge of the lens 0.02mm 0.015mm 0.01mm
MIL-Scratch/Dig 60-40 40-20 20-10
Surface Roughness(rms) 3.0nm 2.0nm 0.5nm
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